名称：「ペリクル膜、ペリクル枠体、ペリクル、その製造方法、露光原版、露光装置、半導体装置の製造方法」事件
特許取消決定取消請求事件
知的財産高等裁判所：令和５年（行ケ）第１００５３号　判決日：令和６年６月２４日
判決：決定取消
特許法２９条１項３号、２９条２項
キーワード：一致点、相違点、新規性、進歩性
判決文： https://www.courts.go.jp/app/files/hanrei_jp/155/093155_hanrei.pdf

［概要］
引用発明１のＣＮＴバンドルが面内配向の特性を有しているからといって、ＲＢ０．４以上事項を当然に満たすと判断することはできず、引用文献１には、ＲＢの数値を特定する記載や示唆もなく、技術常識であったということもできないから、ＲＢ０．４以上事項に容易に想到することができたとは言えないと判断され、本件発明の新規性、進歩性を肯定した事例。

［特許請求の範囲］
【請求項１】
１Ａ　支持枠の開口部に張設される露光用ペリクル膜であって、前記ペリクル膜は、厚さが２００ｎｍ以下であり、前記ペリクル膜は、カーボンナノチューブシートの自立膜であり、
１Ｂ　前記カーボンナノチューブシートは複数のカーボンナノチューブから形成されるバンドルを備え、前記バンドルは径が１００ｎｍ以下であり、
１Ｃ　前記カーボンナノチューブシート中で前記バンドルが面内配向しており、
１Ｄ　下記条件式（１）を満たし、
１Ｇ　前記カーボンナノチューブシートは、面内配向した前記バンドル同士が絡み合った網目構造を有し、
１Ｈ　前記カーボンナノチューブの径が０．８ｎｍ以上６ｎｍ以下である、
１Ｉ　露光用ペリクル膜。
（１）カーボンナノチューブシートの断面の制限視野電子線回折像において、前記カーボンナノチューブのバンドルの三角格子に由来する前記カーボンナノチューブシートの膜厚方向の、回折強度のピークとなる逆格子ベクトルにおける回折強度と、前記カーボンナノチューブシートの膜厚方向の前記ピークと重ならず、ベースラインとなる逆格子ベクトルにおける回折強度との差を、前記膜厚方向の前記ベースラインとなる逆格子ベクトルにおける前記カーボンナノチューブシートの面内方向の回折強度と、前記膜厚方向の回折強度のピークとなる逆格子ベクトルにおける前記カーボンナノチューブシートの面内方向の回折強度との差で除した比ＲＢが０．４０以上である。

［主な争点］
引用文献１を主引用例とする本件発明１、３～５の新規性の判断の誤り（取消事由１）
引用文献１を主引用例とする本件発明の進歩性の判断の誤り（取消事由２）
引用文献２を主引用例とする本件発明の進歩性の判断の誤り（取消事由３）

［裁判所の判断］（筆者にて適宜抜粋）
１　取消事由１、２について
『（３）ＲＢ０．４以上事項の有無は実質的相違点か
ア　本件決定が認定した本件発明１と引用発明１の相違点１Ａ（別紙３「本件決定の理由」１（２）アの［相違点１Ａ］）の中には「引用発明１ではＲＢ０．４以上事項の構成が明らかでない」点が含まれているところ、本件決定は、このＲＢ０．４以上事項の有無に係る相違点は実質的な相違点ではないと判断した。
イ　しかし、引用文献１には、ＲＢの数値を特定する記載は一切なく、その示唆もない。また、ＣＮＴ膜の面内配向性をＲＢによって特定すること自体も、引用文献１その他の出願時の文献に記載されていたと認めることはできず、技術常識であったということもできない。
ウ　本件決定の上記アの判断は、ＲＢの値が、０．４０以上では面内配向しており、０．４０未満では面内配向していないことを表す旨の本件明細書等の記載（【０１０４】）から、本件発明１のＲＢ０．４以上事項が、ＣＮＴのバンドルが面内配向していることを特定するものであり、引用発明１は面内配向しているものを想定しているから、ＲＢ０．４以上事項を満たすことになるとの理解に基づくものと解される。
しかし、本件発明１の特許請求の範囲に照らすと、ＣＮＴバンドルが面内配向しているという定性的構成（構成１Ｃ）と、ＲＢ０．４以上事項というパラメータによる定量的構成（構成１Ｄ）は独立の構成となっており、本件明細書の【０１０４】等の記載を踏まえても、引用発明１のＣＮＴバンドルが面内配向の特性を有しているからといって、ＲＢ０．４以上事項を当然に満たすと判断することはできない。
・・・（略）・・・
原告ら提出に係る甲４０によれば、原告らが引用文献２記載の方法で作製したＣＮＴ自立膜（サンプル１、２）ではそれぞれＲＢが－０．３８、－０．２６であったのに対し、本件発明の完成当時に製造されたＣＮＴ自立膜では１．０４だったのであり、薄膜自立無秩序ＳＷＣＮＴシートであれば、ＲＢ０．４以上事項を満たしているともいえない。
・・・（略）・・・
（４）以上のとおりであって、本件決定には、ＲＢ０．４以上事項を含む相違点１Ａが実質的なものであることを看過し、引用発明１に基づき本件発明１、３～５が新規性を欠くとした誤りがあり、取消事由１は理由がある。』

２　取消事由２について
『（１）本件決定が認定した本件発明１と引用発明１との相違点１Ａ及び本件発明６と引用発明１との相違点６ＡにはＲＢ０．４以上事項の有無が含まれるところ、引用文献１には、ＲＢの数値を特定する記載は一切なく、その示唆もないこと、ＣＮＴ膜の面内配向性をＲＢによって特定すること自体も、引用文献１その他の出願時の文献に記載されていたと認めることはできず、技術常識であったということもできないこと、薄膜自立無秩序ＳＷＣＮＴシートであれば通常ＲＢ０．４以上事項を満たしているとの被告の主張が採用できないことは前述のとおりである。
（２）そうすると、他に副引用例が提出されているわけでもない本件において、当業者が相違点１Ａに係る本件発明１の構成又は相違点６Ａに係る本件発明６の構成を容易に想到することができたとはいえず、引用発明１に基づき本件発明１及び本件発明６の進歩性を否定した本件決定の判断には誤りがある。』

３　取消事由３について
『(２) 以上を前提に、引用発明２の認定の誤り、相違点の認定の誤りについて検討する。
・・・（略）・・・
上記(１)カによれば、引用文献２記載の放熱体は、「光学製品」等の他の物品で発した熱を「配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体」が放熱するものであり（３７頁２８行～３８頁１行）、ここでいう「光学製品」と「配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体」は別個の物品である。
ところが、本件決定は、引用発明２を、「配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体を用いた光学製品である放熱シート」とし、「配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体」自体が「光学製品」であるという前提で引用発明２の認定をしており、同認定は誤りである。
そして、この誤った認定は、相違点２Ａ及び相違点２Ｈ（引用発明２は「配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体を用いた光学製品である放熱シート」であるとの点）の認定にもそのまま反映されている。
この認定の誤りは、引用発明２の技術分野、基本的な技術的意義に関わってくるものであって、決定の結論に影響を及ぼすものである。
（３）　次に、容易想到性の判断について検討する。
ア　相違点２Ａ及び相違点２Ｈについて
引用文献２に記載された発明においては、熱を発生する物品（光学製品等）と、その熱を放熱する「放熱体」とが別個のものとして存在する。一方、本件発明１における「カーボンナノチューブシートの自立膜」である「ペリクル膜」は、引用文献２でいう「熱を発生する物品（光学製品等）」であり「放熱体」に該当するものではない。
したがって、引用発明２における「配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体」を「放熱体」に該当しないペリクル膜として適用するということは、引用文献２の記載から離れた適用であり、論理付けが成立しない。また、引用文献２にはペリクル膜の例示はなく、その示唆もない。
よって、引用発明２について相違点２Ａに係る本件発明１の構成とすること、相違点２Ｈに係る本件発明６の構成とすることは、当業者が容易になし得たことではない。
イ　相違点２Ｄ及び相違点２Ｇについて
引用文献２の「配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体」は、垂直に起立した複数のＣＮＴの集合体からなるものである（上記（１）イ、オ）。
したがって、当該構造体におけるＣＮＴ同士がバンドルを形成したとしても、バンドル自体が絡み合いを有し、その結果「網目構造」を形成するという形態に至ることは想定されていない。
仮にバンドル同士が絡み合い「網目構造」を有する状態に至ったとすれば、そのような状態の構造は、もはや「配向単層カーボンナノチューブ・バルク構造体」ではなくなり、垂直配向した単層カーボンナノチューブのバルク構造体を得るという引用文献２記載の課題にも反するから、そのような適用には阻害要因が存在する。
（４）　以上のとおりであって、本件決定は引用発明２及び相違点２Ａの認定、相違点２Ａ及び相違点２Ｈ並びに相違点２Ｄ及び相違点２Ｇの容易想到性の判断に誤りがあるから、引用発明２に基づき本件発明１及び本件発明６の進歩性を否定した本件決定の判断には誤りがある。』

［コメント］
本件明細書の【０１０４】の記載は、「ＲＢの値が、０．４０以上では面内配向しており、０．４０未満では面内配向していないことを表す。」である。この記載は、０．４０を境にして、ＲＢ０．４０以上は面内配向している、０．４０未満では面内配向していないことを断言している。従って、実際はどうかはさておき、本件明細書上、請求項１に記載されている「前記バンドルが面内配向しており」と「比ＲＢが０．４０以上」は、全く同じことを意味しているようにも読める。原告は、『本件発明１は、「前記カーボンナノチューブシート中で前記バンドルが面内配向しており」との構成（構成１Ｃ）に加え、「下記条件式（１）を満たし」としてＲＢが０．４０以上であるとし、面内配向が高度であることをＲＢの値により特定しているのである（構成１Ｄ）。』と主張している。仮に、請求項１が「比ＲＢが０．５０以上」のように、０．４よりも大きい値で規定されているのであれば、面内配向されている中でも、その面内配向が高度であることをＲＢの値により特定しているとの主張は理解できるが、請求項１の記載は「比ＲＢが０．４０以上」であり、【０１０４】の記載からすると、面内配向していることしか特定されておらず、高度であることまで特定しているようには見えない。
以上から、被告（特許庁）が、ＲＢ０．４以上が面内配向していることを特定するものと理解し、面内配向しているものの、ＲＢの記載のない引用文献１と実質的な相違点にならないとした点は、妥当ではないとまではいえないと考える。
原告は、面内配向したものであってもＲＢ０．４以上を満たすとは限らないことを示す実験結果（甲４０）を提出しており、本判決は、この甲４０により、面内配向していることをもってＲＢ０．４以上と理解することができない、との結論が導かれたように思われる。

（担当弁理士：奥田　茂樹）